Wrocławskie Centrum Badań EIT+ otworzyło najbardziej zaawansowane w Polsce laboratoria typu clean room

Strefa clean-room w Kampusie Pracze to jeden z najnowocześniejszych w Polsce obszarów laboratoryjnych dedykowanych do mikro- i optoelektroniki. Będą tam prowadzone badania
z użyciem najnowocześniejszego klastra epitaksji MBE (osadzanie warstw za pomocą wiązek molekularnych) oraz reaktora MOCVD (osadzanie związków metaloorganicznych
z fazy gazowej). Uzupełnienie stanowić będzie linia technologiczna, w skład której wchodzą między innymi: fotolitografia oraz nanoimprint, czyszczenie i wytrawianie podłoży na mokro oraz na sucho poprzez wytrawianie jonami wspomaganymi plazmą (ICP-RIE), osadzanie warstw metalicznych poprzez naparowanie (PVD) oraz z użyciem plazmy (ICPECVD), charakteryzacja wytwarzanych struktur i tzw. back-end.

- Te obszary będą stanowić jedne z głównych tematów badawczo-rozwojowych w EIT+. W tej chwili przygotowujemy do pracy najnowocześniejsze w Polsce laboratoria typu clean room. To rodzaj pomieszczeń o kontrolowanych parametrach środowiskowych, w szczególności zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, itp. Dzięki nim będziemy mogli prowadzić specjalistyczne badania naukowe nad materiałami wymagającymi wysokiej czystości. – mówi prof. Detlef Hommel z Wrocławskiego Centrum Badań EIT+.

Pomieszczenie czyste (z ang. clean-room), w których prowadzi się stałą kontrolę zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, ale także rodzaj światła, kierunek przepływu powietrza, temperatura, ciśnienie, używane są do badań naukowych z materiałami wrażliwymi na zanieczyszczenia i wpływ warunków zewnętrznych. Można je wykorzystywać przede wszystkim przy produkcji materiałów o wysokiej czystości np. procesorów, tranzystorów oraz mikroczipów. W EIT+ strefę typu clean-room będą tworzyć Laboratorium Epitaksji oraz Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych, a użytkownicy będą mieli do dyspozycji pomieszczenia w klasach czystości od ISO5 do ISO7 o łącznej powierzchni ok. 580 m2. Strefa clean-room została utworzona w ramach projektu „DCMiB - Dolnośląskie Centrum Materiałów i Biomateriałów Wrocławskie Centrum Badań EIT+” w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna Gospodarka. Jej koszt wyniósł 35 mln zł.

Czym się charakteryzują laboratoria typu clean-room?

Posiadają:

• Specjalny układ filtrów eliminujących kolejne frakcje zanieczyszczeń
• Całe powietrze wewnątrz pomieszczenia jest ciągle filtrowane przez zestaw filtrów HEPA w celu usuwania zanieczyszczeń powstałych wewnątrz.
• Pracownicy wchodzący i opuszczający pomieszczenie muszą zrobić to przez śluzę powietrzną (czasem wyposażoną w prysznic powietrzny)
• Pracownicy wewnątrz clean room muszą przez cały czas być ubrani w specjalne kombinezony ochronne, maski na twarz, obuwie, itd.
• Urządzenia wewnątrz clean room muszą być specjalnie zaprojektowane tak, aby nie generowały dodatkowych zanieczyszczeń.
• Popularne materiały takie jak: papier, ołówki, tkaniny naturalne, itd. są zazwyczaj zabronione (z uwagi na ich łamliwość i przyczynianie się do powstawania kurzu lub generowania cząstek).
• Pomieszczenia niższej klasy zazwyczaj nie są sterylne (tzn. wolne od niekontrolowanych bakterii), a większa uwaga poświęcona jest mechanicznym cząstkom lotnym zawartym w powietrzu. Ich zawartość jest kontrolowana za pomocą licznika cząstek.
• Często powietrze jest dodatkowo osuszane, co stwarza dodatkowe zagrożenie ładunkami elektrostatycznymi. W celu zapobieżenia ewentualnym wyładowaniom stosuje się odpowiednią odzież ochronną, uziemia się urządzenia oraz meble oraz przestrzega dokładnie określonych zasad pracy.

Laboratoria zostały utworzone w budynku laboratoryjny 9A

To jedyny nowo wybudowany budynek laboratoryjny w Kampusie Pracze. W budynku 9A zostanie oddanych do użytku ponad 12 400 m2 powierzchni, w tym ponad 10 000 m2 nowoczesnej przestrzeni laboratoryjnej. Obiekt dysponować będzie m.in. powierzchniami laboratoryjnymi typu open space, które przeznaczone będą pod wynajem zewnętrznym grupom badawczym oraz zespołom realizującym prace zlecone. Znajdą się w nim także specjalistyczne pracownie badawcze, prowadzące doświadczenia z obszarów biotechnologii, medycyny, nanotechnologii, informatyki
i telekomunikacji. Do najciekawszych należą:

Laboratorium Laserowych Systemów Pomiarowych, którego podstawowym przeznaczeniem będą badania nad nowoczesną fotoniką, a w szczególności nad zagadnieniami związanymi z techniką światłowodową średnich i dużych mocy oraz generacją ultrakrótkich impulsów świetlnych. Zaplanowane wyposażenie laboratorium umożliwi budowę zaawansowanych układów światłowodowych wykorzystujących najnowsze rozwiązania dostępne na rynku.

• Laboratorium Materiałów Polimerowych,
• Laboratorium Mikroskopii Elektronowej,
• Laboratorium Mikroobróbki Laserowej,
• Laboratorium Badań Struktury Ciała Stałego – pracownia UHV,
• Laboratorium Biospektroskopii, Bioobrazowania i Bioczujników,
• Laboratorium Materiałów Luminescencyjnych.

W budynku zaplanowano także nowocześnie wyposażone laboratoria chemiczne zorganizowane modułowo (moduły małe i duże), w których prowadzone będą reakcje syntezy organicznej i nieorganicznej. Pomieszczenia te stanowić będą samodzielne pracownie, w których będzie można przeprowadzić zarówno reakcje syntezy, proces oczyszczania, a także wstępnie zanalizować otrzymany produkt. Ponadto w skład każdego modułu wchodzą pokoje przeznaczone do cichej pracy, w których można przeprowadzić analizę i obróbkę danych, a także zarchiwizować wyniki.